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嵌入式膜厚检测仪

嵌入式膜厚检测仪

产品信息 特 点 采用分光干涉法 搭载高精度FFT膜厚解析系统(专利 第4834847号) 使用光学光纤,可灵活构筑测量系统 可嵌入至各种制造设备。 实时测量膜厚 可对应远程操作、多点测量...

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产品介绍
  • 产品信息
  • 设备构成
  • 测量案例

产品信息

特 点

 采用分光干涉法

 搭载高精度FFT膜厚解析系统(专利 第4834847号)

 使用光学光纤,可灵活构筑测量系统

 可嵌入至各种制造设备。

 实时测量膜厚

 可对应远程操作、多点测量

 采用寿命长、安全性高的白色LED光源

测量项目

多层膜厚解析

用 途

光学薄膜(超硬涂层、AR薄膜、ITO等)

FPD相关(光刻胶、SOI、SiO2等)

设备构成

单点型

半导体晶圆的面内分布测量

玻璃基板的面内分布测量

多点型

实时测量

流向品质管理

真空室适用

导线型

实时测量

宽度方向品质管理

测量案例

超硬涂层的膜厚解析



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